高純氣體管道外觀檢查及管道設計規范

　　潔凈廠房中一般需要用到高純氣體，氣體管道是指氣體壓力小于等于0.8MPa的氫氣、氧氣、氮氣、壓縮空氣、燃氣等一般氣體和高純氣體管道及真空管道，其具體的安裝要求可參考《潔凈室施工及驗收規范》(JGJ 71-1990)的有關規定。高純氣體是指其氣體純度大于等于99.9995%，含水量小于5×10-4%的氣體。

　　高純度、高潔凈氣體管道的施工不同于一般工業管道，稍有疏忽便可能破壞氣體的質量。因此，要理解安裝氣體質量的重大意義、要求嚴格遵守設計、施工要求，工作嚴肅認真、一絲不茍，高度重視各個細小環節，建成符合要求的管路系統。要求做到以下幾個方面:

　　一、高純氣體管道外觀檢查

　　1、管道系統的管材、閥門及所有附件，氣體管道安裝怎么樣，嚴格設計要求選用，不得隨意更改或代換。

　　2、所有管材應放在室內精心保管，不得露天堆放、日曬和雨淋。

　　3、管段端頭要用塑料或橡膠密封罩加以密封，不得脫落、破i裂。

　　4、管子、管件、閥門等使用前，詳細進行下列外觀檢查:

　　1)無裂紋、縮孔、折疊、重皮等缺陷。

　　2)無銹蝕、蝕斑等現象。

　　3)管子平直、圓滑，氣體管道安裝生產商，無局部凹陷，無刮傷、擠壓等缺陷。

　　4)管材內表面的“粗糙度”是否符合設計要求，螺紋處密封、保護是否良好。

　　5)外購成品“內表面超光滑潔凈管”要有出廠合格證及相關等i級i證書和資i質證明。應隨機抽樣做顯微鏡下檢驗，須符合設計要求。

　　6)檢查成品“內表面超光滑潔凈管”的外包裝和相應管端頭的管帽、堵頭等密封措施是否符合要求。

　　7)法蘭的密封面應當平整、光滑，氣體管道安裝，不得有毛刺及徑向溝槽，實驗室氣體管道安裝，凹凸法蘭應當能夠自然嵌合，凸面的高度不得低于凹槽的深度。

　　8)橡膠、塑料等非金屬墊片，應當質地柔軟、無老化及分層現象，表面不得有折損、皺i紋等現象。金屬墊片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度、厚度等均要符合要求，表面不得有裂紋、毛刺、凹槽、徑向劃痕和銹斑等缺陷。

　　二、氣體管道設計規范

　　1、氫氣、氧氣和煤氣管道以及引入實驗室的各種氣體管道支管宜明敷。當管道井、管道技術層內敷設有氫氣、氧氣和煤氣管道時，應有換氣1~3次/h的通風措施。

　　2、按標準單元組合設計的通用實驗室，各種氣體管道也應按標準單元組合設計。

　　3、穿過實驗室墻體或樓板的氣體管道應敷設在預埋套管內，套管內的管段不應有焊縫。管道與套管之間采用非燃燒材料嚴密封堵。

　　4、氫氣、氧氣管道的末端和i高點宜設置放空管。放空管應高出層頂2m以上，并應設在防雷保護區內。氫氣管道上還應設取樣點和吹掃口。放空管、取樣口和吹掃口的位置應能滿足管道內氣體吹掃置換的要求。

　　5、氫氣、氧氣管道應有導除靜電的接地裝置。有接地要求的氣體管道其接地和跨接措施應按國家現行有關規定執行。

　　6、管道敷設要求

　　① 輸送干燥氣體的管道宜水平安裝，輸送潮濕氣體的管道應有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液體收集器。

　　② 氧氣管道與其他氣體管道可同架敷設，其間距不得小于0.25m，氧氣管道應處于除氧氣管道外的其它氣體管道之上。

　　③ 氫氣管道與其可燃氣體管道平行敷設時，其間距不應小于0.50m;交叉敷設時，其間距不應小于0.25m。分層敷設時，氫氣管道應位于上方。室內氫氣管道不應敷設在地溝內或直接埋地。不得穿過不適用氫氣的房間。

　　④ 氣體管道不得和電纜、到店線路同架敷設。

　　⑤ 氣體管道宜采用無縫鋼管。氣體純度大于或等于99.99%的氣體管道宜采用不銹鋼管、銅管或無縫鋼管。

　　⑥ 管道與設備的連接段宜采用金屬管道，如為非金屬軟管，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯i乙烯管，不得采用乳膠管。

　　⑦ 閥門和附件的材質：對氫氣和煤氣管道不得采用銅質材料，其它氣體管道可采用銅、碳鋼和可鍛鑄鐵等材料。